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磁控濺射脈沖電源

產品名稱:磁控濺射脈沖電源

產品類別:按行業應用分類

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產品詳情
產品簡介: 
磁控濺射脈沖電源其正負脈沖的幅值、頻率、占空比均可獨立連續可調整,適合于鍍制碳化物、氧化物、氮化物等膜層。 
 
技術指標:
1.交流輸入:單相220VAC、三相380VAC
2.功率因數:≥0.99(小功率電源)  ≥0.92(大功率電源)
3.效率:≥0.82
4.輸出空載電壓:≥±600V
5.輸出工作電壓:0~±500V連續可調
6.輸出電流:1A~160A,分10種規格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、200KW
7.工作方式:恒流、恒壓、恒功率任選
8.控制方式:7寸液晶觸摸屏+遠程RS485計算機通信(MODBUS通信協議)
9.輸出頻率:20KHz~80KHz 連續可調
10.占 空 比:5~90%分別連續可調
11.輸出波形:單極正向直流、負向直流、正向脈沖、負向脈沖、對稱雙極正負脈沖、非對稱雙極脈沖
12.穩流精度:≤1%
13.環境溫度:-10℃~40℃
14.冷卻方式:風冷、水冷

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